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Optosensoren zur Waferdetektion
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Der speziell für die Halbleiterindustrie konzipierte Wafer Mapping Sensor arbeitet nach dem Doppel-Triangulationsprinzip. Die fokussierende Sendeoptik und das neuartige Zwei-Segment-Empfangselement garantieren eine präzise Positionserkennung von Wafern (> 3 Zoll), unabhängig von deren Dicke und Beschichtung. Anwendungsgebiete dieses Triangulationslichttasters sind u. a. in der Prozesstechnik (z. B. Waferbelackungs und -belichtungsautomaten etc.) der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.
Besonderheiten:
- Hohe Positionierungsgenauigkeit
- Rotlicht-LED mit fixfokussierter Sendeoptik
- Kurze Ansprechzeit nur 0,5ms
- Ausschaltverzögerung
- Komfortables "Teach-In"-Verfahren zur Einstellung
- Vier Empfindlichkeitsstufen (vorwählbar über DIP-Schalter oder extern)
- Testeingang
- Hell-/Dunkelumschaltung
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| NPN- / PNP-Ausgang |
M-DW1 |
| Sensortyp |
Lichttaster |
| Tastweite |
45mm |
| Ansprechzeit |
max. 0,5ms |
| Ausgang Transistor |
NPN und PNP, max. 100mA |
| Sendediode |
Rot LED |
| Stromaufnahme ohne Last |
max. 65mA |
| Gehäusematerial |
ABS, Edelstahl |
| Schutzart |
IP67 |
| Maße (HxBxT) |
18,3 x 80,6 x 50mm |
| Anschlussart |
Kabel 30cm |
| Betriebs-Nennspannung |
12 - 24V DC (± 10%) |
| Umgebungstemperatur |
0°C bis +55°C |
| Gewicht |
ca. 75g |
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M-DW1 Anwendungsbeispiele
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Positionierung von Wafern
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Ionisatoren
Produkte
